Visionox、V5プロジェクトを本格化…SELとの特許契約締結により技術基盤を強化およびマスクレスOLED蒸着装置も発注完了

FMMとViP方式のOLED積層構造の比較 (Source: Visionox)
中国のVisionox社は、V5プロジェクトにおける主要インフラ工程が順調に進行しており、次世代OLED生産に向けた準備が本格化している。また、日本のSEL(Semiconductor Energy Laboratory)との戦略的特許ライセンス契約を締結し、コア技術の確保において重要な進展を遂げた。
安徽省合肥市に建設中のV5ラインは、従来のFMM(ファインメタルマスク)工程を脱却した mask-less OLED生産を主な目標としている。このために推進されているViP(Visionox intelligent Pixelization)技術は、正式に mask-less OLEDと名称を変更し、次世代高解像度OLED製造方式としての地位を確立している。
最近、VisionoxはV5工場の屋根工事を完了し、主要装置の設置に向けた基礎工程を終了した。主要工程装置である蒸着機はApplied Materialsの子会社AKTに発注が完了しており、露光装置(Nikon)、イオン注入装置(Nissin)、ELA装置などの発注も順次進行中である。V5ラインの最終投資確定に向けた技術委員会の審議も順調に進んでいる。
一方、Visionoxは最近、SELとのOLED関連のコア特許に関するライセンス契約を締結した。SELはLTPS(低温多結晶シリコン)および酸化物TFT、OLED駆動に関する多数の基本特許を保有しており、「メタルマスクレスリソグラフィ(MML)」方式のリソグラフィOLED工程を開発中である。今回の契約により、Visionoxは自社のmsak-less OLED技術および高解像度パネル設計におけるグローバルな特許リスクを軽減し、技術競争力を強化することが可能となった。VisionoxのMASK-LESS OLED技術は、Applied Materialsが開発したOLED Max(フォトリソグラフィ)技術を基盤としている。SELの技術がリソグラフィ工程の後にカソード工程を行うのに対し、OLED Max技術はカソードと封止を先に形成した後にリソグラフィ工程を行う点に違いがある。SELの技術はOLED材料の寿命低下の可能性が高いが、工程の歩留まりを向上させやすいという利点がある。SELとの提携は、Visionoxが推進中の次世代OLED技術の商用化において重要なマイルストーンになると見られている。
Visionoxは、今回のV5プロジェクトの進展およびグローバル技術提携の拡大を契機として、昆山に国家レベルの研究所を設立し、AMOLEDの応用多様化戦略や資産の効率化を通じて、技術中心の持続可能な成長とグローバルOLED市場におけるリーダーシップの強化を目指していく計画である。
Changho Noh, Analyst at UBI Research (chnoh@ubiresearch.com)



