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ULVAC、中国Metaways社と提携、シリコンベースのマイクロOLED量産プロセスを発表

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ULVACは、先日開催されたディスプレイ産業の展示会で、シリコンベースのマイクロOLEDディスプレイと量産プロセスを発表し、拡大するXRおよびメタバースデバイス市場における競争優位性をアピールした。展示されたソリューションは、マイクロOLEDの開発とモジュール統合に特化した新進気鋭の中国企業である浙江宏星科技股份有限公司（Metaways）との共同開発によるものである。

展示されたディスプレイは、AR/VRスマートグラス、パイロット用HMD、赤外線暗視システム、ウェアラブル医療機器などの超小型・高解像度アプリケーション向けに設計されている。

ULVACは、マイクロOLED製造に最適化された装置として、SELION-E300、NET-300C、NET-300Sを紹介した。これらの装置は、金属や絶縁体の精密なパターン形成、低温PECVD蒸着、先進的なパッケージングに使用される。高効率、高い信頼性、安定したスループットを実現し、シリコンベースのOLED生産に最適である。

ULVACの加工パートナーであるMetawaysは、中国におけるマイクロOLEDモジュール製造のトップメーカーとしての地位を確立している。 同社は、設計、チップ製造、駆動回路、最終的なモジュール組み立てに至るまでをカバーする垂直統合型の生産ラインを開発した。 中国科学技術大学、中国電子科技大学、南京大学などの博士号取得者や専門家を含む強力な研究開発チームを擁するMetawaysは、独自のイノベーションと自社技術の開発に注力している。

このコラボレーションは、日本の装置メーカーが急成長する中国のディスプレイ新興企業と協力する顕著な例である。マイクロOLEDに対する世界的な需要が増加し続ける中、このようなパートナーシップは、国境を越えた装置とデバイス技術の融合を加速させ、高解像度・超小型ディスプレイの次のイノベーションへの道筋を立てることが期待されている。

Junho Kim, UBI Research analyst(alertriot@ubiresearch.com)

UBIリサーチのMicro ディスプレイレポート

OLED蒸着装置市場でキヤノントッキを代替可能な候補は？

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OLEDを採用したスマートフォンが増えている。米国Appleは2017年下半期にOLEDを採用したiPhoneを発売する予定で、韓国Samsung Electronicsは全てのスマートフォンにOLEDを採用すると見込まれている。中国の電機メーカーもハイエンドスマートフォンにOLEDを採用しており、韓国Samsung Displayの中国向けOLED生産量も増加している様子だ。

 

スマートフォン向けOLEDに対する需要が高まり、Samsung Display、韓国LG Display、ジャパンディスプレイ、中国BOE、中国CSOTなど、主要ディスプレイメーカーは第6世代規模のフレキシブルAMOLED量産ラインへ投資を進めるなど計画している。

 

2017年から2018年の2年間、パネルメーカーの投資が予想される第6世代フレキシブルAMOLED量産ラインの規模は、15,000個を基準に約20個のラインで、OLED量産ライン稼働に必須である蒸着装置を確保することが重要な課題となっている。

 

現在、韓国でフレキシブルAMOLEDを量産しているSamsung DisplayとLG Displayは、キヤノントッキが製造した蒸着装置を導入して量産を行っている。韓国SFAと韓国SNU、アルバックも中国パネルメーカーに量産用の蒸着装置を納品しているが、第4世代から第5世代向けの装置である。2016年、韓国Sunic SystemはLG Displayに第6世代用蒸着装置を納品したものの、まだ量産にはつながっていない。即ち、第6世代用蒸着装置の量産を実現したメーカーはキヤノントッキのみとなっている。。

 

パネルメーカーはキヤノントッキ製蒸着装置の購入を希望しているが、、残念ながらキヤノントッキは蒸着装置製造ラインはフルキャパで、全てのパネルメーカーからのラブコールに対応できない状況だ。そのような中で、SFAはSUNを買収し、装着装置に対する競争力を備え、中国GVOと中国Royalから第5.5世代の量産ライン用蒸着装置を受注することに成功した。Sunic Systemも2016年下半期に第6世代用蒸着装置を追加受注し、米国Applied Materialsも同装置をパネルメーカーに納品するよう開発に取り組んでいる。

 

このようにキヤノントッキが絶対的な存在感を持っている蒸着装置市場では、一歩出遅れた後発蒸着装置メーカーの挑戦が相次いでいる。キヤノントッキも徐々に蒸着装置量産の生産能力を拡大していくと見られている中、後発蒸着装置メーカーが製造した蒸着装置の導入が第6世代フレキシブルAMOLEDの量産成功につながるかどうかによって今後の蒸着装置市場が大きく影響を受けると見込まれる。

<OLED量産(予定)パネルメーカー（左）とOLED蒸着装置メーカー（右）>